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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:MEMS和納米技術(shù)

    • 產(chǎn)品型號(hào):Talysurf
    • 產(chǎn)品廠商:英國(guó)TAYLOR HOBSON
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    通過(guò)準(zhǔn)確測(cè)量MEMS裝置內(nèi)的粗糙度,可以控制表面的相互作用-無(wú)論這些相互作用是微型齒輪系統(tǒng)中固體與固體之間的相互作用,還是微型流體泵中固體與液體之間的相互作用。
    詳情介紹:

    MEMS和納米技術(shù)

    微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)如今用于許多應(yīng)用領(lǐng)域,其中包括壓力和加速度傳感器、微晶鏡片顯示裝置和微型流體泵。MEMS裝置充分利用集成電路行業(yè)所使用的制造技術(shù),來(lái)創(chuàng)建諸如齒輪、隔膜和結(jié)合梁之類的機(jī)械構(gòu)件。準(zhǔn)確測(cè)量所有這些構(gòu)件對(duì)于滿足低成本高質(zhì)量的MEMS裝置的批量生產(chǎn)要求至關(guān)重要。

    計(jì)量

    粗糙度
    通過(guò)準(zhǔn)確測(cè)量MEMS裝置內(nèi)的粗糙度,可以控制表面的相互作用-無(wú)論這些相互作用是微型齒輪系統(tǒng)中固體與固體之間的相互作用,還是微型流體泵中固體與液體之間的相互作用。

    臺(tái)階高度
    監(jiān)控MEMS裝置的臺(tái)階高度是一項(xiàng)重要的性能指標(biāo)。臺(tái)階高度與橫向尺寸信息一起可以提供有效的質(zhì)量近似值,此近似值可影響裝置中單個(gè)元件的基本振蕩頻率。

    橫向尺寸
    在對(duì)微型齒輪和流體系統(tǒng)進(jìn)行定性時(shí),橫向尺寸特別重要。對(duì)體積和表面積以及諸如梁寬之類的重要尺寸進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量,有助于控制*終裝置的性能。

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