ZYGO白光輪廓儀之“快速跳躍掃描”ZIP-SCAN模式

您知道么？ZYGO所有型號(hào)白光輪廓儀，都具有ZIP-SCAN“快速跳躍掃描” 模式，用于大高度，多層臺(tái)階的高效測(cè)量。

對(duì)于有高度差的臺(tái)階表面，ZYGO基本解決方案是，以?huà)呙韪叨雀采w臺(tái)階高度，從而測(cè)出臺(tái)階樣品整個(gè)微觀形貌。但高精度模式下，壓電陶瓷掃描長(zhǎng)度一般在100um左右，這大大限制了臺(tái)階高度的測(cè)量范圍。 

ZYGO還提供延長(zhǎng)掃描（Extended Scan Length）的測(cè)量方案，以電機(jī)驅(qū)動(dòng)縱向掃描，高度可達(dá)20mm，幾乎可以解決大部分高落差的臺(tái)階樣品。但由于在整個(gè)20mm高度的掃描過(guò)程中，系統(tǒng)一直在測(cè)量采樣，所以這一掃描測(cè)量過(guò)程，會(huì)花費(fèi)較長(zhǎng)的時(shí)間。 

如果您的樣品具有大的臺(tái)階跳躍，或者多層臺(tái)階，對(duì)測(cè)量時(shí)間效率要求高，那您可以考慮ZYGO獨(dú)有的“快速跳躍掃描”ZIP-SCAN模式。

Zip Scan（快速跳躍掃描）模式，是以電機(jī)驅(qū)動(dòng)，移到預(yù)設(shè)的臺(tái)階高度，再切換為壓電陶瓷做高精度掃描。測(cè)試時(shí)兼容多個(gè)CSI掃描模式，包括SureScan抗震模式，同時(shí)還可兼容Stitch拼接和Pattern功能。

Zip Scan的優(yōu)點(diǎn)：對(duì)于臺(tái)階高度大的樣件，Zip Scan測(cè)試效率高，節(jié)約時(shí)間成本，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確。避免了延長(zhǎng)掃描的長(zhǎng)耗時(shí)，減少了延長(zhǎng)掃描過(guò)程中環(huán)境震動(dòng)的影響。同時(shí)，對(duì)于多臺(tái)階的樣件，可實(shí)現(xiàn)每層可以自定義光強(qiáng)，以及每層可以自定義掃描長(zhǎng)度。

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